Печать шаблона на фоторезисте

Чередование M. с др. приёмами (травление, кристаллизация, напыление плёнок, легирование, окисление и т. д.) позволяет создавать твердотельные структуры со сложной геометрией. Лучше применять шаблоны, покрытые хромом, окислом железа или другими металлами, т.к. они допускают периодическую очистку и могут использоваться для гораздо большего числа экспозиций. На практике шаблоны с твердым покрытием могут использоваться более 100 раз. Теперь у нас все готово для начала экспонирования фоторезиста через шаблон.


Скачать: physprep.pdf

Похожие записи:

Comments are closed, but trackbacks and pingbacks are open.